臭氧发生器产生臭氧消毒氧化原理：
利用高压电离(或化学、光化学反应)，使空气中的部分氧气分解聚合为臭氧，是氧的同素异形转变过程;亦可利用电解水法获得。臭氧的不稳定性使其很难实现瓶装贮存，一般只能利用臭氧发生器现场生产，随产随用。
一、发生器与放电管
臭氧系统的技术和设备是发生器中的放电管，直接影响设备的运行效率和可靠性。臭氧发生器采用微间隙介质阻挡放电设计，不仅大大提高了运行的效率，而且增加了系统连续运行的安全可靠性。设备的技术参数已经达到水平。
由于采用微间隙放电技术，使系统运行电压降低为6-8 kV，远低于玻璃管绝缘介质的耐压水平，有效地避免了介质击穿短路故障的发生，提高了运行可靠性。
臭氧发生器放电单元所采用的模块化设计方法，使设备的安装，检修和维护工作更加容易。在保证进气气源质量的条件下，臭氧发生器放电单元连续运行的免维护时间可以长达5年。
 

二、高频高压电源
与传统的臭氧中频
电源不同，山东华林臭氧系统采用4kHz的高频电源技术，结合微放电间隙设计可以有效提高臭氧生成的效率，减小发生器的体积和占地空间，从而减少土建设计及投资费用。逆变电源系统采用美国成熟的高频电源技术，现场运行证明可以保证系统运行的稳定性。高频输出经升压系统后产生正弦波高电压，经电缆与发生器相连，在高频高压的作用下，放电间隙产生冷态等离子体放电生成臭氧。
二、、冷却系统
虽然现代臭氧发生器的效率与传统产品相比已经明显提高，但有90%左右的电能不是用来生成臭氧而是转变成热量，如果这部分热量得不到有效的散失，臭氧发生器放电间隙的温度会持续升高甚超过设计的运行温度。高温不利于臭氧的产生但利于臭氧的分解，导致臭氧产量和浓度下降。我们设计单循环冷却水单元;当冷却水温度超过系统设计温度或水量不足时，系统会自动发出报警信号。紫外线式臭氧发生器是使用特定波长(185nm)的紫外线照射氧分子，电解式臭氧发生器电解式发生器通常是通过电解纯净水而产生臭氧。这种发生器能制取高浓度的臭氧水，制造成本低，使用和维修简单。但由于有臭氧产量无法做大、电极使用寿命短、臭氧不容易收集等方面的缺点，其用途范围受到限制。这种发生器只是在一些特定的小型设备上或某些特定场所内使用，不具备取代高压放电式发生器的条件。